Description du livre
Ce livre se concentre sur la conception et le développement de dispositifs à base de polymères SU-8 et de guides d'ondes en silicium à l'aide d'une méthode de matrice à base d'indice efficace, avec différentes techniques de fabrication comme l'écriture directe au laser (LDW), le faisceau ionique concentré (FIB) et la lithographie optique. La lithographie FIB a été explorée pour les structures photoniques cristallines sur le guide d'ondes et pour le coupleur directionnel dans la région couplée. Cette technique s'est avérée adaptée à la fabrication de structures cristallines photoniques ainsi qu'à toute modification précise des structures de guides d'ondes photoniques micro et nanométriques. Ce livre peut être une référence utile pour les étudiants, les chercheurs et les ingénieurs de fabrication travaillant dans les domaines de l'optique intégrée, des communications optiques, de la technologie laser et de la lithographie optique pour la fabrication de dispositifs.